حلقة عازلة من الألومينا بتقنية الترسيب الفيزيائي للبخار لأنظمة الترسيب الفيزيائي للبخار
حلقة العزل بتقنية الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) من سانت سيرا مصنوعة من أكسيد الألومنيوم عالي النقاء (Al₂O₃) بنسبة 99.8%، وهي مصممة للاستخدام في أنظمة الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). توفر هذه الحلقة عزلاً كهربائياً بين مكونات حجرة الترسيب، مما يمنع حدوث الشرارة الكهربائية ويضمن استقرار تشغيل البلازما. تشمل خصائصها الرئيسية قوة عزل كهربائي عالية (15×10⁶ فولت/متر)، ومقاومة نوعية تزيد عن 10¹⁴ أوم·مم²/متر، وثبات حراري يصل إلى 1600 درجة مئوية. تتيح لنا إمكانيات التصنيع الدقيق الوصول إلى أقطار خارجية تصل إلى 600 مم، وأقطار داخلية تصل إلى 0.2 مم، وسطح مستوٍ بدقة 0.003 مم، وتشطيب سطحي Ra0.1. يضمن انعدام المسامية والخمول الكيميائي للحلقة موثوقية طويلة الأمد في بيئات الترسيب بالرش القاسية.
المواصفات (بناءً على 99.8٪ ألومنيوم)2O₃(قدرات التصنيع في سانت سيرا):
| ملكية | قيمة |
| مادة | 99.8% ألومينا (عاجي) |
| كثافة | 3.93 جم/سم³ |
| قوة الانحناء | 361 ميجا باسكال |
| صلابة فيكرز | 16 جيجا باسكال |
| قوة العزل الكهربائي | 15×10⁶ فولت/متر |
| المقاومة النوعية | >10¹⁴ أوم·مم²/م |
| أقصى قطر خارجي | 600 مم |
| الحد الأدنى للقطر الداخلي | 0.2 مم |
| أقصى سُمك | 100 مم |
| التسطيح | 0.003 مم |
| التوازي | 0.002 مم |
| تشطيب السعر | Ra0.1 |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 1600 درجة مئوية |
التطبيقات:
- • عوازل لوحة الدعم المستهدفة في أنظمة الترسيب الفيزيائي للبخار
- · عوازل التغذية عبر الحجرة
- • عوازل حلقات الحماية في أنظمة الترسيب بالرش
- • عزل الجهد العالي في غرف البلازما
دقة التصنيع:
التمركز: 0.01 مم، الاستدارة: 0.002 مم، الاستقامة: 0.005 مم، التعامد: 0.005 مم، تم التحقق منها بواسطة CMM.
Aمزايا مقارنة بالعوازل البوليمرية:
- يتحمل درجة حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية مقابل حد أقل من 300 درجة مئوية للبوليمر
- • لا يوجد انبعاث للغازات – يحافظ على سلامة الفراغ
- يقاوم التآكل الناتج عن البلازما والهجوم الكيميائي
التخصيص:
تتوفر مقاطع عرضية مخصصة، وميزات تركيب، وملامح متدرجة، وتصميمات حلقات متحدة المركز متعددة.
