-
ذراع روبوتية مصنوعة من سيراميك الألومينا عالي النقاء لمعالجة الرقائق
صُممت ذراع الروبوت الخزفية المصنوعة من الألومينا من شركة سانت سيرا بدقة متناهية من أكسيد الألومنيوم (Al₂O₃) عالي النقاء بنسبة 99.8%. تجمع هذه الذراع بين قوة انحناء استثنائية (361 ميجا باسكال)، وصلابة عالية (16 جيجا باسكال)، وكثافة منخفضة (3.93 جم/سم³)، مما ينتج عنه ذراع خفيفة الوزن وصلبة في الوقت نفسه لنقل رقائق أشباه الموصلات. يتطابق معامل التمدد الحراري للمادة (7.2 × 10⁻⁶/°م) بشكل كبير مع السيليكون، مما يقلل من التباين الحراري أثناء المعالجة.
-
أداة برنولي الخزفية الطرفية - معالجة رقائق السيليكون الرقيقة والهشة بدون تلامس
تستخدم أداة نقل الرقاقات الخزفية من نوع برنولي من شركة سانت سيرا الرفع الديناميكي الهوائي للتعامل مع الرقاقات دون تلامس مباشر. وهي مصنوعة من أكسيد الألومنيوم (Al₂O₃) عالي النقاء بنسبة 99.8% أو كربيد السيليكون (SiC)، وتتميز بفوهات مصنعة بدقة عالية تقوم بقذف غاز مضغوط لتكوين طبقة رقيقة من الهواء بين الأداة والرقاقة. يمنع مبدأ عدم التلامس هذا تلوث السطح الخلفي، وتكسر الحواف، وتلف السطح، مما يجعله مثاليًا للرقاقات الرقيقة (≤100 ميكرومتر)، والهشة، أو الملتوية. توفر الركيزة الخزفية قوة انحناء عالية (361 ميجا باسكال لأكسيد الألومنيوم Al₂O₃؛ وتصل إلى 550-600 ميجا باسكال لكربيد السيليكون SiC)، وكتلة منخفضة، وثباتًا ممتازًا في الأبعاد، مما يضمن تحديد المواقع بدقة متكررة في روبوتات نقل الرقاقات عالية السرعة.
-
أداة طرفية خزفية مطلية بالتفلون - سطح غير لاصق للتعامل مع الرقائق الحساسة
تجمع أداة القطع الطرفية الخزفية المطلية بالتفلون (PTFE) من سانت سيرا بين ركيزة ألومينا عالية المتانة وطبقة PTFE موحدة ومنخفضة الاحتكاك (بسماكة 15-30 ميكرومتر). توفر هذه الطبقة معامل احتكاك منخفضًا للغاية (≤0.1)، ومقاومة كيميائية ممتازة، وخصائص مانعة للالتصاق، مما يمنع التصاق الرقاقات ويقضي على التلوث من الجهة الخلفية. تتميز الركيزة الخزفية الأساسية (99.8% Al₂O₃) بقوة انحناء عالية (361-1000 ميجا باسكال)، ومقاومة للتآكل، وثبات حراري يصل إلى 260 درجة مئوية (حد الطلاء). تُعد هذه الأداة الطرفية مثالية للتعامل مع الرقاقات الحساسة أو الرقيقة أو اللزجة (مثلًا، بعد طلاء المقاوم الضوئي أو العمليات الكيميائية).
