حامل فراغي من السيليكون كاربيد المسامي مدعوم بالمعدن لمعالجة الرقاقات الملتوية والرقيقة
تجمع قاعدة التثبيت الفراغية الخزفية المعدنية من St.Cera بين طبقة خزفية مسامية من كربيد السيليكون (SiC) وقاعدة معدنية مصنعة بدقة (من الألومنيوم أو الفولاذ المقاوم للصدأ). توفر مادة كربيد السيليكون المسامية (لونها أزرق داكن، مسامية 35-40%، حجم المسام 20-30 ميكرومتر، نفاذية 60 مل/سم²·دقيقة) توزيعًا فراغيًا متجانسًا ولطيفًا على كامل سطح الرقاقة، مما يمنع ظهور علامات على الحواف ويتيح دعمًا غير تلامسي للرقاقات الرقيقة (≤100 ميكرومتر) أو الملتوية. تتميز طبقة كربيد السيليكون بانخفاض معامل التمدد الحراري (3.5×10⁻⁶/درجة مئوية)، وثبات حراري يصل إلى 1000 درجة مئوية، وقوة انحناء معتدلة (32-35 ميجا باسكال). تضيف القاعدة المعدنية صلابة هيكلية، وسهولة في التركيب عبر فتحات ملولبة، وحماية من الكسر الهش. هذا الظرف مثالي للطحن الخلفي والتقطيع ومعالجة الرقائق ذات درجة الحرارة العالية حيث يكون الفراغ الموحد والتوافق الحراري أمراً بالغ الأهمية.
المواصفات (بناءً على بيانات السيليكون كاربايد المسامي المقدمة):
| ملكية | قيمة |
| مادة خزفية | كربيد السيليكون المسامي (SiC ≥80%) |
| لون | أزرق داكن |
| المسامية | 35-40% |
| حجم المسام | 20-30 ميكرومتر |
| كثافة | 2.1–2.3 جم/سم³ |
| نفاذية | 60 مل/سم²·دقيقة |
| قوة الانحناء | 32-35 ميجا باسكال |
| معامل التمدد الحراري (25-1000 درجة مئوية) | 3.5×10⁻⁶/درجة مئوية |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 1000 درجة مئوية |
| المقاومة الكهربائية | 10⁻¹⁰ Ω/cm (وفقًا للبيانات المقدمة، وهو أمر نموذجي لـ SiC المسامي) |
| مادة القاعدة المعدنية | الألومنيوم 6061 أو الفولاذ المقاوم للصدأ 304 (اختياري) |
| سمك القاعدة المعدنية | 10-30 مم (حسب الطلب) |
ملاحظة: قوة الانحناء أقل من قوة الانحناء في كربيد السيليكون عالي الكثافة بسبب المسامية. خصائص القاعدة المعدنية ليست مأخوذة من جداول السيراميك.
التطبيقات:
- · طحن الجانب الخلفي للرقائق الرقيقة (≤100 ميكرومتر)
- تركيب رقائق السيليكون الملتوية للتقطيع
- • تثبيت الرقائق في درجات حرارة عالية (تصل إلى 1000 درجة مئوية)
- • تجهيزات تفريغ الهواء للركائز المسامية أو الهشة
تصنيع:
لوحة SiC مسامية (مُشكّلة بمواد مُشكّلة للمسام، مُلبّدة) → مصقولة حتى تصبح مسطحة ≤10 ميكرومتر → قاعدة معدنية مُصنّعة بمنافذ تفريغ وميزات تثبيت → ربط إيبوكسي أو تثبيت ميكانيكي → اختبار تسرب الهيليوم.
ضبط الجودة:
- تم التحقق من المسامية وحجم المسام بواسطة المجهر الإلكتروني الماسح (SEM).
- اختبار النفاذية (تدفق الهواء)
- · قياس التسطيح باستخدام مقياس التداخل الليزري
- معدل تسرب الهيليوم <1×10⁻⁹ باسكال.متر مكعب/ثانية
مزاياها مقارنةً بالظروف الخزفية المحززة أو الكثيفة:
- · لا توجد علامات على الرقاقة – فراغ موحد بدون ثقوب منفصلة
- · مسام ذاتية التنظيف – تقليل الانسداد
- · يتعامل مع الرقائق الملتوية (حتى انحناء 500 ميكرومتر)
- · القاعدة المعدنية تمنع الكسر الهش وتسهل عملية الدمج
القيود:
- • مقاومة انحناء أقل (32-35 ميجا باسكال) - تجنب التحميل بالصدمات
- درجة حرارة التشغيل محدودة بـ 1000 درجة مئوية (كربيد السيليكون المسامي)، ولكن درجة حرارة رابطة الإيبوكسي ذات القاعدة المعدنية محدودة بـ 200 درجة مئوية أو أقل ما لم يتم تثبيتها ميكانيكيًا
- · غير مناسب للاستخدام في الفراغ عالي الضغط (البنية المسامية تحد من أقصى فرق في الفراغ)
التخصيص:
- · قاعدة معدنية: ألومنيوم (خفيف الوزن)، فولاذ مقاوم للصدأ (مقاوم للتآكل)، إنفار (منخفض التمدد)
- • الربط: الإيبوكسي (≤200 درجة مئوية) أو المشبك الميكانيكي (حتى 500 درجة مئوية)
- · حلقة إحكام الحواف للتحكم في فراغ المنطقة
يرجى الملاحظة: قوة الانحناء الموردة (32-35 ميجا باسكال) أقل بكثير من قوة الانحناء في السيراميك الكثيف بسبب المسامية. تعامل بحذر لتجنب تشقق الحواف.
