حلقة سيراميك من الألومينا عالية النقاء لغرف عمليات الترسيب الكيميائي للبخار / الترسيب الفيزيائي للبخار
صُممت الحلقة الخزفية من سانت سيرا خصيصًا للاستخدام في غرف عمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). تُصنع هذه الحلقة من ألومينا عالية النقاء بنسبة 99.8% (Al₂O₃)، وتُستخدم كبطانة للغرفة، أو حلقة تركيز، أو مكون من مكونات مجموعة العمليات لحصر البلازما وحماية جدران الغرفة من التآكل. تتميز هذه المادة بمقاومة ممتازة للبلازما، وقوة عزل كهربائي عالية (15×10⁶ فولت/متر)، وثبات حراري يصل إلى 1600 درجة مئوية، مما يضمن عمرًا تشغيليًا طويلًا في بيئات البلازما القوية القائمة على الفلور. كما تُمكّن دقة الأبعاد (±0.05 مم للقطر الداخلي/الخارجي) ومستوى التسطيح (≤10 ميكرومتر) من تحديد موضع حافة الرقاقة بدقة، مما يُحسّن من تجانس الترسيب ويُقلل من توليد الجسيمات.
المواصفات (بناءً على 99.8% من أكسيد الألومنيوم Al₂O₃):
| ملكية | قيمة |
| مادة | 99.8% ألومينا (عاجي) |
| كثافة | 3.93 جم/سم³ |
| امتصاص الماء | 0% |
| قوة الانحناء | 361 ميجا باسكال |
| مقاومة الكسر | 3-4 ميجا باسكال متر مربع |
| صلابة فيكرز | 16 جيجا باسكال |
| معامل يونغ | 380 جيجا باسكال |
| الموصلية الحرارية | 32 واط/م·ك |
| التمدد الحراري (25-1000 درجة مئوية) | 7.2×10⁻⁶/درجة مئوية |
| قوة العزل الكهربائي | 15×10⁶ فولت/متر |
| المقاومة النوعية | >10¹⁴ أوم·سم |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 1600 درجة مئوية |
التطبيقات:
- · حلقات ضبط البؤرة وحلقات الحافة في حجرة الترسيب الكيميائي للبخار
- · حلقات حماية حجرة الترسيب الفيزيائي للبخار وحلقات التثبيت
- · حفر بطانات حجرة النقش وحلقات الغطاء
- • حلقات حصر البلازما في أنظمة الحفر العازلة
عملية التصنيع:
الضغط المتساوي ← التشغيل الأولي ← التلبيد عند 1600 درجة مئوية ← الطحن الداخلي/الخارجي باستخدام الحاسوب ← صقل السطح ← التنظيف بالموجات فوق الصوتية ← فحص كامل باستخدام آلة قياس الإحداثيات. يقلل سطح فائق النعومة (Ra ≤ 0.4 ميكرومتر) من التصاق الجزيئات.
ضبط الجودة:
- فحص الأبعاد بنسبة 100% (القطر الداخلي، القطر الخارجي، السماكة، التسطيح)
- • فحص اختراق الصبغة للكشف عن الشقوق الدقيقة السطحية
- اختبار قوة العزل الكهربائي وفقًا لمعيار ASTM D149
- لا يوجد تغير مرئي في اللون أو مسامية تحت المجهر بقوة تكبير 20×
مزاياها مقارنة بالخواتم المعدنية أو الكوارتزية:
- عمر أطول بمقدار 5-10 مرات من حلقات الألومنيوم في بلازما الفلور
- · لا يوجد تلوث معدني في الأغشية الرقيقة
- مقاومة أعلى للبلازما مقارنة بالكوارتز (لا توجد حفر تآكل)
- يحافظ على العزل الكهربائي >10¹⁴ أوم·سم حتى بعد الاستخدام طويل الأمد
مادة بديلة - نتريد السيليكون (Si₃N₄):
للتطبيقات التي تتطلب مقاومة أعلى للكسر (6.2 ميجا باسكال·م¹/²) ومقاومة أفضل للصدمات الحرارية (معامل التمدد 3.2×10⁻⁶/درجة مئوية)، تتوفر حلقات Si₃N₄. مع ذلك، يُعدّ الألومينا خيارًا أكثر فعالية من حيث التكلفة لمعظم تطبيقات الترسيب الكيميائي للبخار/الترسيب الفيزيائي للبخار. يُرجى تحديد المادة المفضلة عند الطلب.
التخصيص:
- • ثقوب نافذة، أو مقاطع جانبية متدرجة، أو تجاويف للتثبيت
- · سطح مطلي بـ Y₂O₃ لمقاومة محسّنة للبلازما (اختياري)
- · نقش رقم القطعة / رمز الدفعة بالليزر
ملحوظة:تتوافق البيانات المذكورة أعلاه تمامًا مع جدول خصائص أكسيد الألومنيوم (Al₂O₃) المرفق. أما بالنسبة لحلقات نيتريد السيليكون (Si₃N₄)، فيُرجى الرجوع إلى ورقة بيانات نيتريد السيليكون (Si₃N₄) المنفصلة المرفقة.
