حامل فراغي خزفي مسامي قائم على الألومينا لمعالجة الرقائق الرقيقة
تُصنع مشابك التثبيت المسامية من الألومينا من شركة سانت سيرا من أكسيد الألومنيوم عالي النقاء بنسبة 99.6%، مع مسامية مفتوحة مضبوطة تتراوح بين 30 و45%، وحجم مسام موحد يتراوح بين 10 و50 ميكرومتر. وعلى عكس مشابك التثبيت ذات الأخاديد، يوفر السطح المسامي فراغًا موزعًا على كامل الجانب الخلفي للرقاقة، مما يمنع ظهور علامات على الحواف، ويتيح تثبيتًا لطيفًا للرقاقات فائقة الرقة (≤100 ميكرومتر) أو المعوجة. تتميز هذه المادة بقوة انحناء ≥250 ميجا باسكال، وثبات حراري يصل إلى 400 درجة مئوية في الهواء.
تحديد(بناءً على 99.6٪ ألومنيوم)2O₃):
| ملكية | قيمة |
| مادة | 99.6% ألومينا (بيضاء) |
| المسامية | 30-45% (قابلة للتعديل) |
| متوسط حجم المسام | 10-50 ميكرومتر |
| قوة الانحناء | ≥250 ميجا باسكال |
| كثافة | 3.88 جم/سم³ |
| التسطيح (أكثر من 200 مم) | ≤ 5 ميكرومتر |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 400 درجة مئوية (هواء) |
| تشطيب السعر | مصقول (Ra ≤ 0.8 ميكرومتر) |
التطبيقات:
- · طحن الجانب الخلفي للرقاقات الرقيقة (≤50 ميكرومتر)
- تركيب رقائق السيليكون الملتوية للتقطيع
- · وحدة التقاط الرقاقة المنفردة
- التعامل مع الركائز الزجاجية
تصنيع:
مسحوق ممزوج بمواد مُكوِّنة للمسام ← ضغط متساوي الضغط ← تلبيد عند درجة حرارة 1600 درجة مئوية ← صقل للحصول على السماكة النهائية. يتم اختبار كل قالب للتأكد من تجانس الفراغ (انحراف الضغط <5%) وفحصه لتحديد توزيع حجم المسام (باستخدام المجهر الإلكتروني الماسح).
مزاياها مقارنةً بالظروف التقليدية:
- لا توجد علامات على الجانب الخلفي للرقاقة أو انزياح في القالب
- · يحمل رقائق السيليكون ذات الانحناء حتى 500 ميكرومتر
- سطح ذاتي التنظيف (المسام مقاومة للانسداد)
- · الدعم الموحد يزيل التوتر الموضعي
Cالتخصيص:
أشكال دائرية أو مربعة، قطر 100-450 مم. حلقة إحكام الحافة متوفرة للتحكم في الفراغ المقسم إلى مناطق.
اطلب عينة لحجم الرقاقة المحدد لديك.
