ظرف تثبيت فراغي من الألومينا مقاس 12 بوصة لمعالجة رقائق السيليكون بقطر 300 مم
صُممت ظرف التثبيت الفراغي من سانت سيرا، بقطر 12 بوصة، بدقة عالية من أكسيد الألومنيوم عالي النقاء (Al₂O₃) بنسبة 99.8%، خصيصًا لمعالجة رقائق السيليكون بقطر 300 مم. يتميز الظرف بسطح ذي أخاديد دقيقة (عرض الأخدود 0.5-1.0 مم، والمسافة بين الأخاديد 2-3 مم) لضمان توزيع فراغي متجانس على كامل القطر البالغ 300 مم. يُحافظ على استواء السطح ضمن نطاق 5 ميكرومتر، مما يُمكّن من تثبيت الرقائق دون أي تشوه أثناء التقطيع والطحن الخلفي والفحص. تضمن قوة الانحناء العالية للمادة (361 ميجا باسكال) وصلابتها (16 جيجا باسكال) ثباتًا للأبعاد على المدى الطويل حتى في ظل دورات فراغية متكررة.
تحديد (بناءً على 99.8% Al₂O₃):
| ملكية | قيمة |
| القطر | 300 مم (12 بوصة) |
| مادة | 99.8% ألومينا (عاجي) |
| كثافة | 3.93 جم/سم³ |
| قوة الانحناء | 361 ميجا باسكال |
| صلابة فيكرز | 16 جيجا باسكال |
| التسطيح (أكثر من 300 مم) | ≤ 5 ميكرومتر |
| عرض الأخدود | 0.5–1.0 مم |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 800 درجة مئوية |
| قوة العزل الكهربائي | 15×10⁶ فولت/متر |
التطبيقات:
تقطيع ونقش رقائق السيليكون بقطر 300 مم
• طحن الجانب الخلفي للرقاقة (دعم الرقاقة الرقيقة)
الفحص البصري والفحص بالمسح
• ظرف تثبيت/فك مؤقت
تصنيع:
تم صقلها وتلميعها باستخدام آلات CNC حتى الوصول إلى سطح مستوٍ تمامًا، ثم تم تشكيل أخاديدها باستخدام عجلات ماسية، وتنظيفها بالموجات فوق الصوتية، وتغليفها في غرفة نظيفة من الفئة 100. يتم فحص كل ظرف بنسبة 100% للتأكد من استوائه (باستخدام مقياس التداخل الليزري) وعمق الأخاديد (باستخدام مقياس البروفيل).
المزايا:
• انخفاض توليد الجسيمات (≤0.05 جسيم/سم²)
• خامل كيميائياً تجاه المذيبات والأحماض
سطح آمن ضد التفريغ الكهروستاتيكي (مقاومة نوعية >10¹³ أوم·سم)
تتوفر أنماط فتحات تفريغ مخصصة ومنافذ خلفية.
