أداة طرفية من السيراميك الألومينا مزودة بقنوات تفريغ مدمجة
تدمج أداة التفريغ المصنوعة من الألومينا من شركة سانت سيرا قنوات تفريغ وفتحات شفط مصنعة بدقة عالية مباشرةً في هيكلها المصنوع من الألومينا عالية النقاء بنسبة 99.8%. يلغي هذا التصميم الحاجة إلى وسادات تفريغ خارجية، مما يتيح التقاط الرقاقات مباشرةً بقوة تثبيت موحدة. تضمن قوة الانحناء العالية للمادة (361 ميجا باسكال) وصلابتها (16 جيجا باسكال) استقرارًا أبعاديًا طويل الأمد في ظل دورات تفريغ متكررة. يتم الحفاظ على استواء سطح الوسادة في حدود 10 ميكرومتر، مما يمنع إجهاد الرقاقات وكسرها. تقع منافذ التفريغ في شفة التثبيت الخلفية لتسهيل دمجها مع أذرع الروبوتات الأصلية.
تحديد(بناءً على 99.8% من أكسيد الألومنيوم (Al₂O₃)):
| ملكية | قيمة |
| مادة | 99.8% ألومينا (عاجي) |
| كثافة | 3.93 جم/سم³ |
| قوة الانحناء | 361 ميجا باسكال |
| صلابة فيكرز | 16 جيجا باسكال |
| معامل يونغ | 380 جيجا باسكال |
| التمدد الحراري | 7.2×10⁻⁶/درجة مئوية |
| تسطيح الوسادة | ≤10 ميكرومتر |
| عرض قناة التفريغ | 0.5–2.0 مم |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 800 درجة مئوية |
التطبيقات:
● التقاط الرقائق الرقيقة أو الملتوية باستخدام الفراغ
● معالجة مباشرة للرقاقة دون الحاجة إلى تثبيت الحواف
● نقل ركيزة الخلية الشمسية و LED
تصنيع:
قطعة من الألومينا المتلبدة ← حفر قنوات وثقوب التفريغ باستخدام آلة CNC خماسية المحاور ← صقل السطح ← تنظيف بالموجات فوق الصوتية ← اختبار تسرب الهيليوم. يتم اختبار تدفق كل أداة بنسبة 100% لضمان تجانس التفريغ.
المزايا:
● لا حاجة إلى وسادات شفط خارجية (يقلل من مصادر الجسيمات)
● يمنع ضغط التثبيت الموحد ظهور علامات على الرقاقة
● خامل كيميائياً ومتوافق مع غرف الأبحاث النظيفة
