دبوس دعم خزفي لتجهيزات عمليات تصنيع أشباه الموصلات
تُستخدم دبابيس الدعم الخزفية من سانت سيرا (المعروفة أيضًا بدبابيس الرفع أو دبابيس الدعم) في حجرات معالجة أشباه الموصلات لرفع الرقاقات أو الركائز أثناء المناولة أو التسخين أو التبريد. تُصنع هذه الدبابيس من 99.8% من الألومينا أو نتريد السيليكون، وتتميز بقوة ضغط عالية، وثبات حراري، ومقاومة كيميائية. كما يمنع تصميمها ذو الطرف نصف الكروي أو المسطح خدش الرقاقات.
تحديد(الألومينا 99.8٪):
| ملكية | قيمة |
| مادة | 99.8% Al₂O₃ أو Si₃N₄ |
| طول | 10 – 100 مم |
| القطر | 1 – 10 مم |
| شكل الطرف | مسطح، نصف كروي، مدبب |
| قوة الضغط (Al₂O₃) | >2000 ميجا باسكال |
| أقصى درجة حرارة تشغيل (Al₂O₃) | 1600 درجة مئوية |
| تشطيب السعر | مصقول (Ra ≤ 0.4 ميكرومتر) |
| التفاوت المسموح به في القطر | ±0.01 مم |
التطبيقات:
دبابيس الرفع في حجرات الترسيب الكيميائي للبخار/الترسيب الفيزيائي للبخار
دبابيس دعم للخبز على صفيحة التسخين
هياكل دعم بطاقة الفحص
دعامات قارب فرن الكوارتز
تصنيع:
الطحن الدقيق بدون مركز للقطر الخارجي → طحن الماس لشكل الطرف → التنظيف بالموجات فوق الصوتية → فحص الأبعاد بنسبة 100%.
ضبط الجودة:
قياس الطول/القطر باستخدام آلة قياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد، ومقارنة بصرية لنصف قطر الطرف، واختبار التحميل للتحقق من قوة الضغط (عينة عشوائية لكل دفعة). خالٍ من التلوث المغناطيسي الحديدي (تم التحقق منه باستخدام مغناطيس).
مزاياها مقارنةً بالدبابيس المعدنية أو الكوارتزية:
عمر أطول بخمس مرات من الفولاذ المقاوم للصدأ
لا يوجد تلوث معدني في حجرة المعالجة
قدرة تحمل درجات حرارة أعلى من الكوارتز (1600 درجة مئوية مقابل 1100 درجة مئوية)
سطح غير لاصق (يقلل من التصاق الجزيئات)
التخصيص:
أشكال متعددة للطرف، قاعدة ملولبة، أو عمود مدبب.
كما نوفر دبابيس SiC للبيئات البلازمية القاسية.
