لوحة توزيع غاز من الألومينا لرأس دش بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار/الترسيب الفيزيائي للبخار
صُنعت صفيحة توزيع الغاز (رأس الدش) من شركة سانت سيرا بدقة عالية من سيراميك الألومينا عالي النقاء بنسبة 99.8%. وتتميز بوجود مجموعة من الثقوب الدقيقة (بأقطار تتراوح بين 0.3 و1.5 مم) تضمن تدفقًا منتظمًا للغاز عبر سطح الرقاقة أثناء عمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) أو الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) أو الترسيب الذري الطبقي (ALD). وتجعل قوة العزل الكهربائي العالية للصفيحة (>15×10⁶ فولت/متر) ومقاومتها للبلازما منها عنصرًا أساسيًا لترسيب الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات.
تحديد:
| ملكية | قيمة |
| مادة | 99.8% Al₂O₃ أو SiC |
| القطر | 100 – 1500 مم (دائري) أو مستطيل |
| سماكة | 5 – 20 مم |
| قطر الثقب | 0.3 – 1.5 مم |
| نمط الثقوب | مخصص (مثلث، مربع، شعاعي) |
| التسطيح | ≤10 ميكرومتر على كامل المساحة |
| خشونة السطح | Ra ≤0.6 ميكرومتر (جانب الغاز) |
| نسبة المساحة المفتوحة | 5-15% |
التطبيقات:
ألواح رأس الدش PECVD
حاقنات غاز ALD
لوحات توزيع الغاز في غرفة الحفر
مكونات مفاعل MOCVD
تصنيع:
ركيزة الألومينا مصقولة بشكل مسطح → حفر CNC باستخدام أدوات مطلية بالماس (تفاوت موضع الثقب ±0.02 مم) → إزالة النتوءات → التنظيف بالموجات فوق الصوتية → التعبئة والتغليف من الفئة 100.
ضبط الجودة:
تخضع كل صفيحة لفحص دقيق بنسبة 100% للتأكد من حجم الثقوب (باستخدام نظام الرؤية)، واستواء السطح (باستخدام مقياس التداخل الليزري)، وانتظام تدفق الغاز (باستخدام رسم خرائط الضغط). لا توجد شقوق دقيقة تحت المجهر بقوة تكبير 20x.
مزايا مقارنة بالصفائح المعدنية:
لا يوجد تلوث معدني في الأغشية الرقيقة
انخفاض توليد الجسيمات (لا رقائق تآكل)
يتحمل بلازما التنظيف القوية (CF₄، NF₃)
ميزات مخصصة:
قنوات الغاز الخلفية، والثقوب المحفورة، وأختام الحواف، ودرجات المواد المختلفة (SiC من أجل موصلية حرارية أعلى، وطلاء Y₂O₃ لمقاومة البلازما).
نقدم خدمات التحقق من التصميم بمساعدة الحاسوب ومحاكاة التدفق قبل التصنيع.
