حلقة مانعة للتسرب مصنوعة من سيراميك الألومينا عالي النقاء لإحكام إغلاق حجرات درجات الحرارة العالية
صُممت حلقة منع التسرب الخزفية من سانت سيرا كبديل لحلقات منع التسرب البوليمرية في البيئات القاسية التي تتدهور فيها المواد المطاطية. تُصنع هذه الحلقة الصلبة من ألومينا عالية النقاء بنسبة 99.8% (Al₂O₃)، وتُستخدم في تطبيقات منع التسرب الثابتة - عادةً مع حشية من معدن لين أو جرافيت - لتوفير عزل موثوق للفراغ أو الغاز عند درجات حرارة تصل إلى 800 درجة مئوية وفي بيئات البلازما أو المواد الكيميائية القاسية. تتميز هذه المادة بانعدام انبعاث الغازات، وقوة ضغط عالية (قوة انحناء أساسية 361 ميجا باسكال)، وخمول كيميائي (مقاومة للهالوجينات والأحماض والقلويات باستثناء حمض الهيدروفلوريك). تضمن أسطح منع التسرب المصقولة بدقة (تسطيح ≤ 5 ميكرومتر، خشونة سطح Ra ≤ 0.2 ميكرومتر) اتصالًا محكمًا مع المكونات المعدنية أو الخزفية المقابلة.
تحديد(بناءً على 99.8٪ ألومنيوم)2O₃):
| ملكية | قيمة |
| مادة | 99.8% ألومينا (عاجي) |
| كثافة | 3.93 جم/سم³ |
| امتصاص الماء | 0% |
| قوة الانحناء | 361 ميجا باسكال |
| قوة الضغط (تقديرية) | >2000 ميجا باسكال |
| صلابة فيكرز | 16 جيجا باسكال |
| التمدد الحراري (25-1000 درجة مئوية) | 7.2×10⁻⁶/درجة مئوية |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 800 درجة مئوية (هواء)، 1600 درجة مئوية (خامل) |
| تشطيب السطح (سطح الإغلاق) | Ra ≤ 0.2 ميكرومتر (مصقول) |
| التسطيح (لكل 25 مم) | ≤ 5 ميكرومتر |
| معدل تسرب الهيليوم | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (مع حشية مناسبة) |
التطبيقات:
- · الأختام الثابتة لغرفة معالجة أشباه الموصلات (CVD، PVD، الحفر)
- · موانع تسرب أبواب الأفران ذات درجات الحرارة العالية
- · حواف التغذية الفراغية
- إغلاق أوعية المفاعلات الكيميائية
عملية التصنيع:
الضغط المتساوي ← التلبيد عند درجة حرارة 1600 درجة مئوية ← صقل دقيق مزدوج الجوانب للحصول على أسطح مانعة للتسرب فائقة النعومة ← شطف الحواف ← التنظيف بالموجات فوق الصوتية. يتم اختبار كل حلقة بنسبة 100% للتأكد من عدم وجود تسريب باستخدام جهاز كشف تسرب الهيليوم مع حشية معدنية قياسية.
ضبط الجودة:
- • فحص الأبعاد باستخدام جهاز قياس الإحداثيات (القطر الداخلي، القطر الخارجي، السماكة، التوازي)
- مقياس ملامح السطح Ra والتموج
- قياس التسطيح باستخدام سطح بصري مستوٍ
- اختبار تسرب الهيليوم (طريقة الضغط العكسي)
مزاياها مقارنةً بحلقات البوليمر الدائرية:
- · يقاوم 800 درجة مئوية مقابل <300 درجة مئوية لـ FFKM
- • انعدام انبعاث الغازات - عدم تلوث بيئة الفراغ
- مقاومة لجميع أنواع كيمياء البلازما (الفلور، الكلور، الأكسجين)
- لا يوجد انضغاط أو تشوه دائم
- عمر خدمة غير محدود في البيئات النظيفة
القيود (ملاحظات هامة):
- · ليس حلقة دائرية— إنها حلقة خزفية صلبة تتطلب حشية ناعمة (نحاس أو ألومنيوم أو جرافيت) لإحكام الإغلاق.
- لا يسمح بالحركة الديناميكية أو عدم محاذاة الحواف الكبيرة.
- • تكلفة أولية أعلى من حلقات O البوليمرية، ولكن العمر الافتراضي الأطول يقلل من تكلفة الملكية.
- هش - تعامل معه بحذر؛ تجنب الصدمات المباشرة أو إجهاد الانحناء.
ملحوظة:تتوافق البيانات المذكورة أعلاه تمامًا مع جدول خصائص أكسيد الألومنيوم (Al₂O₃) المرفق. لم تُقدّم أي بيانات خاصة بالمواد المطاطية. هذا المنتج عبارة عن حلقة مانعة للتسرب ثابتة، وليست حلقة مطاطية دائرية. يُرجى التأكد من مُلاءمتها لمتطلبات استخدامكم.
