حلقة تركيز حجرة من الألومينا عالية النقاء لأنظمة الحفر بالبلازما والترسيب الكيميائي للبخار

حلقة تركيز حجرة St.Cera هي عنصر أساسي في مجموعة أدوات المعالجة المستخدمة في معدات حفر البلازما، والترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) لأشباه الموصلات. تُصنع هذه الحلقة من أكسيد الألومنيوم عالي النقاء (Al₂O₃) بنسبة 99.8%، وتحيط بحافة الرقاقة لحصر البلازما وتحسين التوزيع الزاوي للأيونات، مما يُحسّن تجانس الحفر على سطح الرقاقة. تتميز هذه المادة بمقاومة استثنائية للبلازما، وقوة عزل كهربائي عالية (15×10⁶ فولت/متر)، وثبات حراري يصل إلى 1600 درجة مئوية، مما يضمن موثوقية طويلة الأمد في بيئات البلازما القوية القائمة على الفلور أو الكلور. كما أن دقة الصقل الداخلي والخارجي، بالإضافة إلى استواء السطح (≤10 ميكرومتر)، تُمكّن من تحديد موضع حافة الرقاقة بدقة، مما يقلل من عيوب الحواف وتوليد الجسيمات.

تحديد(بناءً على 99.8٪ ألومنيوم)2O₃):

التطبيقات:

• · حلقات تركيز حجرة الحفر العازلة (حفر الأكسيد، حفر النتريد)
• · حلقات حافة غرفة حفر السيليكون
• · حلقات مجموعة عملية غرفة الترسيب الكيميائي للبخار
• · غطاء حجرة الترسيب الفيزيائي للبخار وحلقات التثبيت

عملية التصنيع:

يُضغط مسحوق الألومينا عالي النقاء ضغطًا متساويًا، ثم يُشكل آليًا للحصول على شكل شبه نهائي، ثم يُلبد عند درجة حرارة 1600 درجة مئوية، ثم يُطحن باستخدام خراطة ماسية CNC للقطر الداخلي والخارجي والسماكة، ثم يُصقل للحصول على سطح مستوٍ بدقة ≤ 10 ميكرومتر، ثم يُنظف بالموجات فوق الصوتية، ثم يُفحص بنسبة 100% باستخدام جهاز قياس الإحداثيات ثلاثي الأبعاد (CMM). يقلل معامل خشونة السطح Ra ≤ 0.4 ميكرومتر من التصاق الجزيئات.

ضبط الجودة:

• فحص الأبعاد بنسبة 100% (القطر الداخلي، القطر الخارجي، السماكة، التوازي)
• اختبار اختراق الصبغة للكشف عن الشقوق الدقيقة (ممنوع وجود الشقوق)
• • فحص بصري تحت مجهر بقوة تكبير 20× — لا توجد شقوق أو فراغات أو تغير في اللون
• اختبار قوة العزل الكهربائي وفقًا لمعيار ASTM D149 (أخذ العينات)

مزاياها مقارنة بحلقات التركيز المصنوعة من السيليكون أو الكوارتز:

• عمر أطول بمقدار 5-10 مرات في بلازما الفلوروكربون
• لا توجد جزيئات تآكل قابلة للاستهلاك لتلويث الرقائق
• · قوة العزل الكهربائي العالية تمنع حدوث الشرارة الكهربائية
• يحافظ على استواء السطح ودقة الأبعاد على مدى آلاف ساعات الترددات اللاسلكية

مادة بديلة - الزركونيا المثبتة بالإيتريا (ZrO2):

بالنسبة للتطبيقات التي تتطلب مقاومة عالية للكسر (مثل الحجرات التي تتعرض لدورات حرارية متكررة أو صدمات ميكانيكية)، تتوفر حلقات تركيز مصنوعة من أكسيد الزركونيوم (بكثافة 6.03 جم/سم³، وقوة انحناء 1000 ميجا باسكال، ومقاومة للكسر 5-8 ميجا باسكال·م¹/²). مع ذلك، يُعدّ الألومينا خيارًا أكثر فعالية من حيث التكلفة، وهو المعيار الصناعي لمعظم تطبيقات حلقات التركيز.

التخصيص:

• · تحديد ملامح الدرجات، أو الثقوب المخروطية، أو فتحات التثبيت وفقًا لرسم العميل
• طلاء Y₂O₃ لمقاومة محسّنة للتآكل البلازمي (سمك 20-100 ميكرومتر)
• • وضع علامات ليزرية على رقم القطعة أو رمز التاريخ أو علامات المحاذاة

ملحوظة:جميع البيانات مطابقة تمامًا لجدول خصائص أكسيد الألومنيوم (Al₂O₃) المرفق. للاطلاع على مواصفات أكسيد الزركونيوم (ZrO₂)، يُرجى الرجوع إلى ورقة بيانات الزركونيا المرفقة. قد تتطلب تصميمات حلقات التركيز الحصول على موافقة براءة اختراع، ويتحمل العملاء مسؤولية التحقق من حقوق الملكية الفكرية.