أداة طرفية من السيراميك المصنوع من كربيد السيليكون (SiC) - صلابة عالية للتعامل مع الرقاقات في درجات الحرارة العالية
صُنعت أداة القطع الطرفية الخزفية من كربيد السيليكون (SiC) من شركة St.Cera من كربيد السيليكون عالي النقاء (محتوى SiC 99.72%، سيليكون حر 0.05%) باستخدام مادة S1111. تتميز هذه الأداة بخصائص ميكانيكية استثنائية: قوة انحناء 449 ميجا باسكال (مقاسة)، ومعامل مرونة 457 جيجا باسكال (مقاس)، وصلابة فيكرز 25-28 جيجا باسكال (نموذجية). توفر الكثافة المنخفضة (3.10-3.15 جم/سم³، نموذجية) صلابة نوعية عالية، مما يجعلها مثالية لروبوتات نقل الرقائق عالية السرعة. بفضل موصليتها الحرارية التي تتراوح بين 120-150 واط/م·ك (نموذجية) ومعامل تمددها الحراري الذي يتراوح بين 4.0-4.5 × 10⁻⁶/درجة مئوية (نموذجي)، تُبدد أداة القطع الطرفية هذه الحرارة بكفاءة وتحافظ على ثبات أبعادها أثناء التعامل معها في درجات حرارة عالية (تصل إلى 1600-1700 درجة مئوية، بدون حمل). يضمن اللون الأسود/الرمادي وانعدام امتصاص الماء التوافق مع غرف الأبحاث النظيفة.
تحديد(استنادًا إلى تقرير اختبار SiC S1111 المقدم والقيم النموذجية)):
| ملكية | قيمة |
| مادة | SiC (99.72% SiC، 0.05% سيليكون حر) |
| لون | أسود/رمادي |
| كثافة | 3.10–3.15 جم/سم³ |
| امتصاص الماء | 0% |
| قوة الانحناء | 449 ميجا باسكال (متوسط) |
| مقاومة الكسر | 3.12 ميجا باسكال متر¹/² (متوسط) |
| معامل المرونة | 457 جيجا باسكال |
| صلابة فيكرز | 25-28 جيجا باسكال |
| الموصلية الحرارية (25 درجة مئوية) | 120–150 واط/م·ك |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/درجة مئوية |
| أقصى درجة حرارة للاستخدام (بدون حمل) | 1600–1700 درجة مئوية |
التطبيقات:
● معالجة الرقاقات في درجات حرارة عالية (المعالجة الحرارية اللاحقة، المعالجة الحرارية السريعة، الترسيب الطبقي)
● غرف حفر البلازما التي تتطلب مقاومة عالية للتآكل
● روبوتات نقل عالية السرعة (خفيفة الوزن، عالية الصلابة)
تصنيع:
تلبيد مسحوق كربيد السيليكون ← طحن دقيق باستخدام الحاسوب لشكل الذراع وميزات التثبيت ← صقل السطح ← تنظيف بالموجات فوق الصوتية. فحص الأبعاد بنسبة 100% واختبار تسرب الهيليوم لتطبيقات الفراغ.
ضبط الجودة:
● فحص الطول والعرض والتسطيح باستخدام جهاز قياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد
● اختبار قوة الانحناء لكل دفعة (وفقًا لمعيار تقرير الاختبار)
● الفحص البصري تحت المجهر للكشف عن عيوب السطح
مزايا مقارنة بالألومينا أو المعادن:
● معامل مرونة أعلى بمرتين (457 مقابل 380 جيجا باسكال تقريبًا للألومينا) – انحراف أقل
● موصلية حرارية أعلى بثلاث مرات – تبديد أسرع للحرارة
● يتحمل درجات حرارة تزيد عن 1600 درجة مئوية مقابل 800 درجة مئوية للألومينا في الهواء
● كثافة أقل من الفولاذ – انخفاض في الوزن بنسبة 40%
التخصيص:
الأطوال من 150 إلى 450 مم، أشكال الأطراف (قبضة الحافة، برنولي، مسطحة)، أنماط شفة التثبيت حسب رسم الشركة المصنعة الأصلية.
*جميع البيانات الميكانيكية المذكورة أعلاه مأخوذة من تقرير الاختبار المرفق (الدفعة S1111). القيم الحرارية وقيم الصلابة نموذجية لهذه الدرجة من كربيد السيليكون؛ يرجى الاتصال بنا للحصول على شهادة خاصة بالدفعة.*
