ظرف تفريغ سيراميكي مسامي لمعالجة الرقائق الملتوية
صُممت قاعدة التثبيت الخزفية المسامية من سانت سيرا من ألومينا عالية النقاء، بمسامية مفتوحة منتظمة تتراوح بين 30 و45%، وأحجام مسام تتراوح بين 10 و100 ميكرومتر. وعلى عكس قواعد التثبيت التقليدية ذات الأخاديد، يوفر السطح المسامي فراغًا موزعًا على كامل الجانب الخلفي للرقاقة، مما يضمن تثبيت الرقاقات الملتوية أو الرقيقة أو المنفردة بكفاءة عالية دون انفصال الحواف أو كسرها. كما يمنع الفراغ اللطيف (القابل للتعديل عبر مُقيد) ظهور علامات على الجانب الخلفي.
تحديد(بناءً على 99.6٪ ألومنيوم)2O₃):
| ملكية | قيمة |
| المسامية | 30-45% |
| متوسط حجم المسام | 10-100 ميكرومتر (قابل للتحديد) |
| قوة الانحناء | ≥250 ميجا باسكال |
| التسطيح (أكثر من 300 مم) | ≤ 5 ميكرومتر |
| تشطيب السعر | مصقول (Ra 0.8 ميكرومتر) |
| أقصى مستوى للشفط | -80 كيلو باسكال |
| درجة حرارة التشغيل | 400 درجة مئوية (هواء)، 600 درجة مئوية (خامل) |
| مادة | 99.6% Al₂O₃، ZrO₂، أو SiC |
التطبيقات:
طحن الجانب الخلفي للرقاقات الرقيقة (≤50 ميكرومتر)
تركيب رقاقة مشوهة للتقطيع
التقاط رقاقة منفردة من الشريط
التعامل مع الألواح الزجاجية
التصنيع والجودة:
مسحوق سيراميكي ممزوج بمواد عضوية مُكوِّنة للمسام ← يُضغط ← يُلبَّد ← يُصقل حتى الوصول إلى السماكة النهائية. يُختبر كل قالب تحت ضغط فراغي للتأكد من تجانس الفراغ (انحراف ≤ 5%)، ويُفحص توزيع حجم المسام (باستخدام المجهر الإلكتروني الماسح). تُقاس درجة التسطيح باستخدام مقياس التداخل الليزري.
مزاياها مقارنةً بالظروف المحززة:
لا توجد علامات على حافة الرقاقة أو انزياح في القالب
يحمل رقائق السيليكون الملتوية (حتى انحناء 500 ميكرومتر)
يمنع انسداد فتحات التفريغ
دعامة تسوية ذاتية للركائز الرقيقة
التخصيص:
أشكال دائرية أو مستطيلة، بأحجام تصل إلى 600 مم. يمكننا تركيب حلقات إحكام الحواف أو فواصل فراغية للمناطق. تتوفر إصدارات مدعومة بالمعدن لتلبية متطلبات الصلابة العالية.
اطلب عينة لاختبار حجم الرقاقة وانحناءها.
