-
معالجة مخصصة لحامل رقائق السيراميك Al2O3
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
ألواح سيراميك لمعدات أشباه الموصلات المخصصة من ST.CERA
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
ظرف تثبيت فراغي من الألومينا مقاس 12 بوصة لمعالجة رقائق السيليكون بقطر 300 مم
صُممت ظرف التثبيت الفراغي من سانت سيرا، بقطر 12 بوصة، بدقة عالية من أكسيد الألومنيوم عالي النقاء (Al₂O₃) بنسبة 99.8%، خصيصًا لمعالجة رقائق السيليكون بقطر 300 مم. يتميز الظرف بسطح ذي أخاديد دقيقة (عرض الأخدود 0.5-1.0 مم، والمسافة بين الأخاديد 2-3 مم) لضمان توزيع فراغي متجانس على كامل القطر البالغ 300 مم. يُحافظ على استواء السطح ضمن نطاق 5 ميكرومتر، مما يُمكّن من تثبيت الرقائق دون أي تشوه أثناء التقطيع والطحن الخلفي والفحص. تضمن قوة الانحناء العالية للمادة (361 ميجا باسكال) وصلابتها (16 جيجا باسكال) ثباتًا للأبعاد على المدى الطويل حتى في ظل دورات فراغية متكررة.
-
قطع غيار سيراميكية لمعدات فحص أشباه الموصلات
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
حامل معدات أشباه الموصلات ذو الألواح الخزفية
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
قطع غيار سيراميكية لمعدات أشباه الموصلات
تُصنع قطع الغيار الخزفية بتقنية الضغط المتساوي البارد والتلبيد تحت درجة حرارة عالية، ثم تُشَكَّل وتُصَقَّل بدقة متناهية، ما يُمكّنها من تلبية جميع المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات بفضل خصائصها المقاومة للتآكل والتآكل الكيميائي، وانخفاض تمددها الحراري، وعزلها الحراري. ويمكن استخدام الخزف في العديد من أنواع معدات إنتاج أشباه الموصلات في ظروف درجات الحرارة العالية، أو الفراغ، أو الغازات المسببة للتآكل لفترات طويلة.
مصنوع من مسحوق الألومينا عالي النقاء، معالج بالضغط المتساوي البارد، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، والتشطيب الدقيق، ويمكن أن يصل إلى تفاوت الأبعاد إلى ±0.001 مم، وتشطيب السطح Ra 0.1، ومقاومة درجة الحرارة 1600 درجة مئوية.
-
حلقة مانعة للتسرب مصنوعة من سيراميك الألومينا عالي النقاء لإحكام إغلاق حجرات درجات الحرارة العالية
صُممت حلقة منع التسرب الخزفية من سانت سيرا كبديل لحلقات منع التسرب البوليمرية في البيئات القاسية التي تتدهور فيها المواد المطاطية. تُصنع هذه الحلقة الصلبة من ألومينا عالية النقاء بنسبة 99.8% (Al₂O₃)، وتُستخدم في تطبيقات منع التسرب الثابتة - عادةً مع حشية من معدن لين أو جرافيت - لتوفير عزل موثوق للفراغ أو الغاز عند درجات حرارة تصل إلى 800 درجة مئوية وفي بيئات البلازما أو المواد الكيميائية القاسية. تتميز هذه المادة بانعدام انبعاث الغازات، وقوة ضغط عالية (قوة انحناء أساسية 361 ميجا باسكال)، وخمول كيميائي (مقاومة للهالوجينات والأحماض والقلويات باستثناء حمض الهيدروفلوريك). تضمن أسطح منع التسرب المصقولة بدقة (تسطيح ≤ 5 ميكرومتر، خشونة سطح Ra ≤ 0.2 ميكرومتر) اتصالًا محكمًا مع المكونات المعدنية أو الخزفية المقابلة.
-
حلقة تركيز حجرة من الألومينا عالية النقاء لأنظمة الحفر بالبلازما والترسيب الكيميائي للبخار
حلقة تركيز حجرة St.Cera هي عنصر أساسي في مجموعة أدوات المعالجة المستخدمة في معدات حفر البلازما، والترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) لأشباه الموصلات. تُصنع هذه الحلقة من أكسيد الألومنيوم عالي النقاء (Al₂O₃) بنسبة 99.8%، وتحيط بحافة الرقاقة لحصر البلازما وتحسين التوزيع الزاوي للأيونات، مما يُحسّن تجانس الحفر على سطح الرقاقة. تتميز هذه المادة بمقاومة استثنائية للبلازما، وقوة عزل كهربائي عالية (15×10⁶ فولت/متر)، وثبات حراري يصل إلى 1600 درجة مئوية، مما يضمن موثوقية طويلة الأمد في بيئات البلازما القوية القائمة على الفلور أو الكلور. كما أن دقة الصقل الداخلي والخارجي، بالإضافة إلى استواء السطح (≤10 ميكرومتر)، تُمكّن من تحديد موضع حافة الرقاقة بدقة، مما يقلل من عيوب الحواف وتوليد الجسيمات.
-
حلقة سيراميك من الألومينا عالية النقاء لغرف عمليات الترسيب الكيميائي للبخار / الترسيب الفيزيائي للبخار
صُممت الحلقة الخزفية من سانت سيرا خصيصًا للاستخدام في غرف عمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). تُصنع هذه الحلقة من ألومينا عالية النقاء بنسبة 99.8% (Al₂O₃)، وتُستخدم كبطانة للغرفة، أو حلقة تركيز، أو مكون من مكونات مجموعة العمليات لحصر البلازما وحماية جدران الغرفة من التآكل. تتميز هذه المادة بمقاومة ممتازة للبلازما، وقوة عزل كهربائي عالية (15×10⁶ فولت/متر)، وثبات حراري يصل إلى 1600 درجة مئوية، مما يضمن عمرًا تشغيليًا طويلًا في بيئات البلازما القوية القائمة على الفلور. كما تُمكّن دقة الأبعاد (±0.05 مم للقطر الداخلي/الخارجي) ومستوى التسطيح (≤10 ميكرومتر) من تحديد موضع حافة الرقاقة بدقة، مما يُحسّن من تجانس الترسيب ويُقلل من توليد الجسيمات.
-
ظرف تفريغ سيراميكي مسامي لمعالجة الرقائق الملتوية
صُممت قاعدة التثبيت الخزفية المسامية من سانت سيرا من الألومينا عالية النقاء، بمسامية مفتوحة منتظمة تتراوح بين 30 و45%، وأحجام مسام تتراوح بين 10 و100 ميكرومتر. وعلى عكس قواعد التثبيت التقليدية ذات الأخاديد، يوفر السطح المسامي فراغًا موزعًا على كامل الجانب الخلفي للرقاقة، مما يضمن تثبيت الرقاقات الملتوية أو الرقيقة أو المفردة بكفاءة عالية دون انفصال الحواف أو كسرها. كما يمنع الفراغ اللطيف (القابل للتعديل عبر مُقيد) ظهور علامات على الجانب الخلفي.
-
حامل فراغي خزفي مسامي قائم على الألومينا لمعالجة الرقائق الرقيقة
تُصنع مشابك التثبيت المسامية من الألومينا من شركة سانت سيرا من أكسيد الألومنيوم عالي النقاء بنسبة 99.6%، مع مسامية مفتوحة مضبوطة تتراوح بين 30 و45%، وحجم مسام موحد يتراوح بين 10 و50 ميكرومتر. وعلى عكس مشابك التثبيت ذات الأخاديد، يوفر السطح المسامي فراغًا موزعًا على كامل الجانب الخلفي للرقاقة، مما يمنع ظهور علامات على الحواف، ويتيح تثبيتًا لطيفًا للرقاقات فائقة الرقة (≤100 ميكرومتر) أو المعوجة. تتميز هذه المادة بقوة انحناء ≥250 ميجا باسكال، وثبات حراري يصل إلى 400 درجة مئوية في الهواء.
-
لوحة توزيع غاز من الألومينا لرأس دش بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار/الترسيب الفيزيائي للبخار
صُنعت صفيحة توزيع الغاز (رأس الدش) من شركة سانت سيرا بدقة عالية من سيراميك الألومينا عالي النقاء بنسبة 99.8%. وتتميز بوجود مجموعة من الثقوب الدقيقة (بأقطار تتراوح بين 0.3 و1.5 مم) تضمن تدفقًا منتظمًا للغاز عبر سطح الرقاقة أثناء عمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) أو الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) أو الترسيب الذري الطبقي (ALD). وتجعل قوة العزل الكهربائي العالية للصفيحة (>15×10⁶ فولت/متر) ومقاومتها للبلازما منها عنصرًا أساسيًا لترسيب الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات.
